Semiconduttore a gas esafluoruro di zolfo SF6

Il gas esafluoruro di zolfo SF6 è un gas sintetico e inodore utilizzato nel settore elettrico per mantenere le reti funzionanti in modo sicuro e affidabile. È altamente stabile, non-tossico, non-infiammabile ed elettronegativo, il che significa che non formerà altri composti che ne altereranno lo stato e l'efficacia.

 

Il gas SF6 è uno dei gas fluorurati più comunemente utilizzati nell'attacco a secco dei semiconduttori. È caratterizzato da elevata selettività e forte velocità di attacco. È adatto per l'incisione di materiali a bassa costante dielettrica come ossido di silicio, fluoruro di silicio, nitruro di silicio, ecc.

 

SF6 N. CAS:2551-62-4

La formula chimica dell'esafluoruro di zolfo è SF₆e la sua massa molare è 146,00554 g mol^-1. La struttura dell'esafluoruro di zolfo è ottaedrica, con 6 atomi di fluoro legati ad un atomo di zolfo centrale. Ogni legame S-F ha un angolo di 90º. La sua struttura chimica può essere scritta come di seguito, nelle rappresentazioni comuni utilizzate per le molecole organiche.

 I plasmi di esafluoruro di zolfo (SF6) sono comunemente usati nell'incisione profonda del silicio (Si), dell'ossido di silicio (SiO2) e, più recentemente, del vetro di silice.

 L'esafluoruro di zolfo è un composto inorganico. È un gas stabile incolore, inodore, non-tossico, non-infiammabile a temperatura e pressione normali. Si tratta di una nuova generazione di materiale dielettrico isolante ad altissima-tensione. Essendo un buon isolante del gas, viene utilizzato principalmente per l'estinzione dell'arco negli interruttori ad alta-tensione e come materiale isolante in trasformatori di grande-capacità e cavi ad alta-tensione. spesso sostituiscono gli interruttori automatici a bagno d'olio (OCB) che possono contenere PCB dannosi.

 L'esafluoruro di zolfo è stato il gas tracciante utilizzato nella calibrazione del primo modello di dispersione aerea della carreggiata, è stato utilizzato con successo come tracciante in oceanografia per studiare la miscelazione diapicnale e lo scambio di gas nell'aria-del mare.

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