FFKM è un materiale di tenuta ad alte prestazioni. Le sue eccellenti prestazioni hanno permesso alla sua applicazione di penetrare nell'intero sistema di produzione di prodotti semiconduttori. Tra questi, gli anelli di tenuta FFKM sono uno dei principali materiali di consumo richiesti per la produzione di circuiti integrati.
la struttura e le caratteristiche prestazionali dell'FFKM
FFKM è copolimerizzato da tetrafluoroetilene (TFE), perfluoroalchil vinil etere (PAVE) come monomeri principali e una piccola quantità di monomero del punto di polimerizzazione (CSM). Come mostrato nella figura sottostante, tutti gli atomi di carbonio nel polimero Gli atomi di idrogeno sulla gomma sono tutti sostituiti da atomi di fluoro, rendendola una gomma che non contiene affatto legami CH.
Principali caratteristiche prestazionali di FFKM:
1) Proprietà fisiche
La densità di FFKM è 1.9-2.0g/cm³. Le sue proprietà meccaniche a temperatura normale sono vicine a quelle della gomma fluorurata (FKM) a base di fluoruro di vinilidene (VDF), ma le sue proprietà meccaniche ad alta temperatura sono migliori di quelle della gomma fluorurata.
2) Resistenza chimica
Nella catena molecolare FFKM non sono presenti atomi di idrogeno e i legami CC sono sostanzialmente circondati da un guscio composto da atomi F, il che dimostra una forte inerzia chimica e rende il polimero notevolmente resistente agli agenti chimici.
3) Resistenza alle alte e basse temperature
La temperatura di esercizio di FFKM è generalmente di 260~290 gradi e può essere utilizzata in modo intermittente a temperature elevate di 316 gradi. Poiché un gran numero di gruppi -OCF3 vengono introdotti nelle catene ramificate delle molecole, la flessibilità delle molecole è migliorata e la resistenza alle basse temperature della gomma è migliorata.
4) Resistenza al plasma
In un ambiente al plasma, presenta caratteristiche di prodotto quali elevata pulizia e bassa precipitazione e può resistere a lungo al bombardamento al plasma.
Applicazioni di fFKM nei semiconduttori
Nella produzione di semiconduttori, l'affidabilità delle guarnizioni elastomeriche è fondamentale perché gli arresti della produzione per sostituire le guarnizioni sono estremamente costosi. Per evitare potenziali rischi, i requisiti per la pulizia e la purezza delle guarnizioni sono molto severi. Allo stesso tempo, le guarnizioni devono essere in grado di funzionare a lungo nell'ambiente di pressione di alta temperatura, alto vuoto e gas chimici corrosivi.
Per quanto riguarda le applicazioni dei semiconduttori, FFKM si concentra principalmente su:
1) Tenuta del gas: nel processo di produzione dei semiconduttori, la lavorazione e il trasporto di vari gas sono essenziali. Gli O-ring FFKM vengono utilizzati per sigillare condotte del gas, valvole e giunti per garantire che il gas non fuoriesca e mantenere la stabilità del processo.
2) Incisione e pulizia: le fasi di incisione e pulizia nei processi dei semiconduttori spesso comportano l'uso di mezzi corrosivi come acidi o alcali forti. Gli O-ring FFKM sono ampiamente utilizzati nelle parti delle apparecchiature a contatto con questi mezzi, come camere di incisione, vasche di pulizia, ecc., grazie alla loro eccellente resistenza alla corrosione.
3) Trasporto di liquidi e sostanze chimiche: nella produzione di semiconduttori è necessario trasportare vari liquidi e sostanze chimiche, come soluzioni, solventi, liquidi detergenti, ecc. L'O-ring FFKM può essere utilizzato per sigillare componenti di apparecchiature come tubi, valvole e pompe per garantire la distribuzione sicura dei fluidi.
4) Ambiente ad alta temperatura: alcune fasi del processo dei semiconduttori devono essere eseguite in un ambiente ad alta temperatura, come il trattamento termico, la ricottura, ecc. Gli O-ring FFKM hanno un'eccellente resistenza alle alte temperature e sono in grado di mantenere la loro elasticità e le proprietà di tenuta ad alte temperature.
5) Trattamento dell'acqua ultrapura: nella produzione di semiconduttori, l'acqua ultrapura viene utilizzata per pulire e purificare apparecchiature e materiali. Gli O-ring FFKM sono ampiamente utilizzati per sigillare le apparecchiature di trattamento dell'acqua ultrapura per impedire l'ingresso di impurità e contaminanti.
A causa dell'elevato costo delle materie prime in gomma FFKM, le condizioni di lavoro in cui vengono solitamente utilizzate le guarnizioni FFKM sono estremamente dure. In queste dure condizioni di lavoro, altre gomme sono soggette a corrosione, rigonfiamento, dissoluzione, invecchiamento e indurimento, ecc., con conseguente guasto della tenuta e pertanto non possono soddisfare i requisiti di tenuta. Grazie alla sua eccellente resistenza alla corrosione e alla resistenza alle alte temperature, la gomma FFKM può non solo soddisfare i requisiti di tenuta di condizioni di lavoro dure, ma anche aumentare la durata delle guarnizioni e ridurre i costi di manutenzione dei clienti.
