Xiamen Juda Chemical & Equipment Co., Ltd. è uno dei principali produttori e fornitori di fluidi per pompe per vuoto pfpe jhlo 06/6 in Cina. Se stai cercando fluidi per pompe per vuoto pfpe jhlo 06/6, sii libero di acquistare i nostri prodotti di qualità a prezzi competitivi dalla nostra fabbrica. Contattaci per un preventivo.
Cos'è il fluido per pompa a vuoto perfluoropolietere PFPE JHLO 06/6? Telefono:+86-592-5803997
PFPEJHLO06/6è un fluido per pompe per vuoto inerte a base di perfluoropolietere (PFPE) ad alta-viscosità-, formulato appositamente per sostituire Solvay Fomblin YL VAC 06/6 per apparecchiature per vuoto a semiconduttore di precisione. Essendo un lubrificante sintetico PFPE completamente fluorurato composto esclusivamente da catene molecolari di carbonio, fluoro e ossigeno, offre pulizia senza pari, stabilità termica e reattività chimica pari a zero - i tre parametri di riferimento non- negoziabili per il controllo della resa nella fabbricazione di wafer semiconduttori.
A differenza degli oli per vuoto a base di idrocarburi o esteri- che generano residui volatili e inquinamento da particolato, il nostro JHLO 06/6 PFPE è sottoposto a rigorosi test di sintesi in camera bianca ISO Classe 1 e test di degassamento multi-ciclo. Questo fluido perfluoropolietereo limita TML e CVCM a soglie ultra-basse, prevenendo la contaminazione a ritroso nelle pompe per vuoto di incisione, LPCVD, PVD e impiantazione ionica - riducendo direttamente i tassi di difetti dei wafer e stabilizzando la produttività per fab da 200 mm/300 mm.
Specifiche dell'olio perfluoropolietereo PFPE serie JHL Telefono:+86-592-5803997
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Core semiconduttore-Vantaggi del grado di PFPE JHLO 06/6 Perfluoropolietere Telefono:+86-592-5803997
1. Degassamento ultra-basso e zero contaminazione da particelle (protezione della resa del wafer)
Il principale punto dolente dei sistemi sottovuoto a semiconduttore è il riflusso volatile del lubrificante che inquina i wafer di silicio. Il nostro perfluoropolietere PFPE JHLO 06/6 presenta una pressione di vapore saturo estremamente bassa sotto vuoto spinto:
Perdita minima per evaporazione durante il funzionamento continuo ad alto{0}} vuoto
Non-decomponibile in cicli di plasma, cottura ad alta-temperatura e raffreddamento criogenico
Nessuna dispersione di micro-particelle; evita guasti al fotoresist, cortocircuiti e rischi di difetti superficiali I clienti Fab segnalano una riduzione del 15–22% del tasso di scarto dei wafer dopo il passaggio ai fluidi per pompe a vuoto JHLO 06/6 PFPE, grazie alle prestazioni costanti del perfluoropolietere ultra-pulito corrispondenti ai marchi PFPE importati di alto livello-.
2.Inerzia chimica completa contro i prodotti chimici di processo dei semiconduttori
L'esclusivo backbone in fluorocarburo del perfluoropolietere (PFPE) garantisce a JHLO 06/6 una resistenza completa a tutti i mezzi di processo aggressivi: gas di attacco fluorurato, alogeni, forti ossidanti, ozono e vapori acidi.
Nessuna reazione chimica, carbonizzazione o accumulo di fanghi all'interno delle camere della pompa
Non-infiammabile, punto di infiammabilità pari a zero; sicuro per i processi di pompaggio a vuoto-ricchi di ossigeno
Pienamente compatibile con FFKM, PTFE, acciaio inossidabile e tutti i materiali di tenuta per pompe a semiconduttore. L'assenza di accumulo di fanghi prolunga i cicli di revisione della pompa per vuoto di 2–3 volte rispetto agli oli convenzionali, riducendo i tempi di fermo macchina per la manutenzione delle apparecchiature e i costi dei pezzi di ricambio.
3.Stabilità operativa ad ampia temperatura estrema
Le apparecchiature per il vuoto a semiconduttore alternano il raffreddamento criogenico (-60 gradi) e la cottura ad alta temperatura (260 gradi). Il perfluoropolietere PFPE JHLO 06/6 mantiene un potere lubrificante stabile in tutta la gamma:
Punto di scorrimento inferiore a -58 gradi: avvio regolare della pompa in ambienti con vuoto a temperatura ultrabassa
Temperatura di decomposizione termica superiore a 300 gradi: nessun calo di viscosità o picchi di vapore durante i processi ad alto calore-
Curva di viscosità-temperatura stabile, efficienza di pompaggio del vuoto costante tutto l'anno-
4. Prestazioni identiche a Solvay PFPE Fomblin YL VAC 06/6, fornitura conveniente-
Il fluido per pompe per vuoto JHLO 06/6 PFPE rispecchia tutti i parametri fisici e chimici del perfluoropolietere Solvay Fomblin YL VAC 06/6: peso molecolare, pressione di vapore, potere lubrificante e indicatori di degassamento corrispondenti.
Sostituzione diretta-per tutte le pompe per vuoto rotative a palette, a secco e turbomolecolari utilizzate nelle fabbriche di semiconduttori
La produzione nazionale di massa in camere bianche elimina i lunghi tempi di importazione e i volatili costi delle materie prime all’estero
Disponibili in confezioni IBC da 5 litri, 20 litri e sfusi per linee di produzione di semiconduttori di grandi-volumi
Principali applicazioni di produzione di semiconduttori per PFPE JHLO 06/6 Perfluoropolietere Telefono:+86-592-5803997
Questo fluido per pompe per vuoto PFPE di alta qualità è il lubrificante standard per flussi di lavoro con vuoto ad alta-pulizia nella fabbricazione di wafer-frontend:
1. Pompe per vuoto RIE (incisione al plasma e incisione con ioni reattivi).
2.Sistemi di vuoto per processi di deposizione di film sottili LPCVD, PVD, ALD
3.Impianto ionico, unità di pompaggio ad alto-vuoto con forno a diffusione
4. Degasaggio del wafer, attrezzatura per il vuoto della camera di prova criogenica
5. Pompe di circolazione per vuoto per trasporto di vapori chimici corrosivi
6. Test del vuoto di precisione aerospaziale e lavorazione del vuoto inerte farmaceutico
Tutti gli scenari in cui bassa contaminazione, lunga durata e chimica PFPE perfluoropolieterea inerte sono obbligatori per salvaguardare la resa del prodotto finito.
Perché i Fab di Global Semiconductor scelgono il nostro perfluoropolietere PFPE della serie JHLO Telefono:+86-592-5803997
Con 10 anni di funzionamento di stazioni fluorochimiche indipendenti al servizio degli OEM di semiconduttori e dei produttori di wafer, la produzione di PFPE della nostra fabbrica segue rigorosamente gli standard REACH, RoHS e di purezza delle camere bianche dei semiconduttori:
1
Sintesi completamente interna-della base perfluoropolieterea, nessuna miscelazione-di terze parti
2
Filtrazione delle particelle a 3 stadi prima del riempimento per eliminare i contaminanti estranei
3
Rapporti completi di MSDS, COA e test per camere bianche forniti per lotto
4
Fluidi per vuoto PFPE con viscosità personalizzata (JHLO-04, 14/6, 25/6, 45) disponibili per diversi modelli di pompa
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Domande frequenti – Fluido per pompa a vuoto perfluoropolietere PFPE JHLO 06/6
01.Il PFPE JHLO 06/6 può sostituire completamente Solvay Fomblin YL VAC 06/6?
02.Quali rischi di contaminazione elimina il perfluoropolietere PFPE rispetto all'olio minerale per vuoto?
03.Quali dimensioni di imballaggio sono disponibili per PFPE JHLO 06/6?
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